影响扩散泵运用性能的主要因素
发布时间:2016年04月21日 09:23 阅读:4518
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泽德
扩散泵油和加热功率都是影响扩散泵性能的重要因素。
1.扩散泵油
优良的扩散泵油应具备下述性能:室温下的饱和蒸气压强低,以提高泵的极限真空度;在加热工作的温度下具有高的饱和蒸气压,以得到高浓度的蒸气;热稳定性、化学稳定性及抗氧化性好;表面张力大,以减少爬迁;闪点和着火点高;价格低廉。
扩散泵油主要有两类:混合物油和单质油。常用的混合物油多是石油烃类,是分馏正油产品得到的。这类油制造容易、价格低廉,但饱和蒸气压较高,热稳定性、抗氧化性辐差,在工作过程中常裂解出轻的气体成分,如H2及各种碳氢化合物,从而影响扩散泵的极限真空。
单质油有硅油及全氟聚醚等。硅油即有机硅树脂,由人工合成,它具有低的饱和蒸气压、良好的抗氧化性及高温稳定性,甚至在大气压下短时间加热到250℃仍不会裂解,并可逐渐恢复性能,继续使用。全氟聚醚(又名福布林)的分子相对质量很大,化学稳定性、抗氧化性好,耐辐射、耐UF6腐蚀,在带电粒子轰击下仅产生气态移质而不形成聚合物,故可被抽走,特别适用于粒子加速器、电子显微镜、质谱计等真空系统。
2.加热功率
扩散泵的运用性能与加热功率的关系。每一项指标都有一个最佳的加热功率值;且对于不同的气体和工作液,这个数值是不同的。
在抽速方面,如果加热功率小于最佳数值,则蒸气流密度和速度不够大,抽速小;如果加热功率超过最佳值,蒸气流边层的湍流加重,同时油蒸气分子分解形成的无规则运动严重化,也使抽速下降。对于质量较小的气体,需要较大的蒸气流密度防止反扩散,故抽速峰值移向较大功率处。
在极限压强方面,当加热功率过大时,油蒸气分子热分解,极限压强上升,故有一个最佳加热功率值。
临界前置压强与最大排气率完全取决于定向蒸气流的密度和速度,所以它们随加热功率单调上升。
显然,对不同的气体和工作液,扩散泵的加热功率不同。因此,扩散泵的加热功率在调试好后不应随意改变。
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