扩散泵的结构组成及结构原理

　　扩散泵主要由泵体、蒸发器、多级喷嘴、导流管等构成．下面介绍它们的结构原理。

　　1.喷嘴

　　一个喷嘴所能获得的压缩比很有限，故实际的扩散泵都用3～4个喷嘴相串联，以获得较高的压缩比，这样的泵称为三(四)级泵。在进气口处的称第一级，以下按顺序称第二级、第三级、第四级。从理论上讲，多级泵的压缩比是各个喷嘴压缩比的乘积；而实际上当压缩比大到一定值后，泵的极限压强将取决于工作液的饱和蒸气压，很难再降低。在设计泵时，喷嘴直径一般一级比一级大，呈塔状。气体经过压缩后，密度增加，故下一级喷嘴要大一些，以减小气体密度，防止密度过高的气体穿过蒸气射流反扩散到泵人口侧，影响泵的真空度。

　　2.泵体

　　一般扩散泵体为直筒形，对于大抽速泵也有用锥形或凸腔形泵体的。泵壁可采用铜管或水套进行冷却，以使油蒸气凝结。冷却部位仅限于蒸气射流喷射到的区域，这样使得冷凝下来的油滴在回到蒸发器前有一定的温升，将溶解在其中的气体释放出来，减少油蒸气中的含气量，提高泵的真空度。

　　3.分馏装置

　　扩散泵油在工作过程中会逐渐分解为蒸气压高的轻馏分和蒸气压低的重馏分，轻馏分的高蒸气压最后决定了泵的极限压强。鉴于对极限压强起决定性影响的是第一级喷嘴处的油蒸气压，故采用分馏原理，将重馏分用于第一级喷嘴，就能取得降低极限压强的效果。分馏装置的作用是将泵油中的不同馏分进行分离。水冷泵壁凝结的油滴流回蒸发器，在分馏装置中被加热，轻馏分先被加热成蒸气，供给外围的末级喷嘴导流管，重馏分流到中心时才被加热成蒸气供给高真空喷嘴，从而实现轻、重馏分的分离，这样可使油蒸气的返流量大幅度减小，极限真空可提高一个数量级。

　　4.加热器

　　加热器由电炉丝及炉体组成，其作用是加热泵油使其成为蒸气，以及补偿泵中各部分的热损失。