干式真空泵的应用及分类

　　在近年来，由高真空油扩散泵和作为前级泵的油封式机械泵组成的排气系统，在各工业部门广泛得到应用。在这样的真空系统中不可避免地要发生油蒸气的返流、使真空容器遭到污染，而且在真空容器中进行作业所用的工艺气体会在油中溶解，工艺过程反应生成的颗粒状副产物也会在油中积聚，使油本身变质劣化。

　　近年来，半导体芯片制造产业发展提出的要求，作为高真空泵不能有油蒸气存在，因此无油的涡轮分子泵、复合分子泵在该领域得到了广泛的应用。但是，前级泵还没有真正解决真空系统无油污染的技术难题。1984年以前研制过一些实验室和专门用途的干式泵。但价格昂贵、运行间隙过小，很难在商业上推广应用。之后，相继出现了多种型式的干式泵，主要应用于半导体产业。

　　干式真空泵也称为无油真空泵。在泵的抽气流道中，不能使用任何油类和液体。排气口与大气相通，能连续向大气中排气。能产生10^-2Pa压力范围的真空。

　　干式真空泵的分类

             

　　现在市场上提供的干式真空泵种类很多。可分为两类：容积式和动量传输式。容积式无油真空泵，如多级罗茨泵、爪型泵、往复式活塞泵、螺杆式泵和涡旋式泵等。这种干式泵的极限压力一般为0.1～10Pa，抽速为0.01～0.04m3/s。动量传输式的无油真空泵，如涡轮式无油泵。排气侧与大气相接，在连续流状态下压缩比较高。它是一种粗抽泵，可从标准大气压抽到10^-2Pa。在结构上采用径向和周向流泵的复合式结构，多级串联取气。这种泵的极限压力约为10^-2Pa，抽速为0.02～0.15m3/s。