分子增压泵的结构组成和性能特点

　　传统牵引分子泵的结构简单、工作压强高、排气流量大，然而，在分子流状态下抽速仅为涡轮分子泵的5%，加上动轮和静轮之间的工作间隙小，一般在0.1 mm以下，制造困难，粉尘以及热胀都会影响泵的正常运行。分子增压泵作为新一代产品化的真空泵，该泵是一种兼有中、高真空泵的双重性能、能耗低、能获得清洁真空，还能承受大气冲击，应用前景十分广泛。

　　1.分子增压泵的结构

　　分子增压泵由泵壳、转子、端盖、轴承、2个静轮、动密封轮、3个柱面静轮等组成。采用双重分子牵引结构，转子由平圆盘和柱面构成，无任何叶片。

　　2.分子增压泵的性能

　　(1)能承受大气冲击。涡轮分子泵高速运行时，若受到大气冲击，往往造成叶片严重损坏(俗称剃光头)。分子增压泵不仅取消转子的全部叶片，简化动轮结构，提高运行的可靠性。而且，平盘动轮的内侧设有大截面的连通气孔，因此，发生大气冲击时，平盘动轮、2个静轮、动密封轮的两侧均不会产生大的压强差，从而，不会产生轴向形变，消除了动轮与静止部件之间相擦的可能性。此外，转子两侧柱面动轮刚度大，加上完全对称，抵消了大气的冲击力，因此，受大气冲击时，泵转子不会造成损坏。

　　(2)工作压强高、排气流量大。分子/增压泵的工作机理属于牵引分子泵，因此，具有牵引分子泵工作压强高、排气流量大等优点。

　　(3)获得清洁真空。分子增压泵的抽气通道在径向和轴向多次折返，完全不透光，因此，前级油蒸汽返回高真空室的几率大幅度低于涡轮分子泵。此外，分子增压泵可以在大气压下短时间运行，因此，泵的电源切断后，真空室可以直接注入保护气体，有效地挡住前级油蒸汽对高真空室的污染。

　　(4)节能。在分子流状态，分子/增压泵的能耗与涡轮分子泵大体相同。但前级泵只有涡轮分子泵的1/4～1/2，加上可采用“冲洗抽气工艺”，抽气时间仅为涡轮分子机组的一半，因此，分子/增压泵机组的总能耗仅为涡轮分子泵机组的25%，即节能75%。

　　(5)转速低，轴承寿命长。分子/增压泵采用独特的结构，泵的抽速提高至传统牵引分子泵的30倍，高于相同转速的涡轮分子泵的抽速。

　　(6)能制造大型泵。分子/增压泵结构简单,易于制造抽速较大的大型泵。