低温冷凝泵是利用低温表面冷凝、捕集、吸附被抽空间的气体,使被抽空间的气体压强大大降低,从而获得并维持真空状态的抽气装置。所抽走的气体不是直接排到泵外,而是吸附存储在泵内。低温冷凝泵抽气的基本原理是设法使某一固体表面温度足够低,使被抽气体的饱和蒸气压大大降低,被凝结在低温表面上,达到排除气相分子的目的。
低温冷凝泵所抽的气体往往是混合气体,如空气,因而对某一冷表面来说同时存在“可凝性”气体和“不可凝性”气体。于是在低温表面上便发生以下奇特现象:在可凝性气体的凝结过程中,能不断捕获其他非可凝成分,并降低其分压强,这种作用称为低温捕集。