三种低温冷凝泵的再生方式

三种低温冷凝泵的再生方式

　　冷凝泵又叫凝结水泵，低温冷凝泵是依靠制冷机获取冷量,利用低温表面冷凝和吸附气体的物理过程来获得和保持真空。低温冷凝泵的抽气是一个物理过程,它所冷凝和吸附的气体并没有排出泵外,因此在冷头和低温阵列活性碳饱和后,泵的吸气能力下降,同时冷头温度开始升高(20 K以上)。为恢复泵的抽气能力,需对泵进行再生,常见的有自然升温法、热N2冲洗法、电加热法3种低温冷凝泵再生方式。

　　1.自然升温法

　　关闭高真空阀和电源后,使泵自然升温至室温，从过压保护阀自动释放出冷凝吸附的气体。这种再生方法优是简单经济,但是耗时过长(15 h左右),水蒸汽易被活性碳吸附而不易排出,造成粗抽时间过长,使机械泵油蒸汽返流到泵内造成污染,影响泵的抽气性能。

　　2.热N2冲洗法

　　热N2冲洗法是利用热N2充入泵内对泵进行加热升温,释放出泵内冷凝吸附的气体。这种热交换的效率高,有利于水蒸气从活性碳中脱附,可以缩短再生时间(4 h左右),提高再生质量,同时还可以稀释泵中吸附的有毒易爆气体，是温冷凝泵最常用的再生方法。

　　3.电加热法

　　采用加热带包裹在泵壁周围对其进行加热升温,使泵释放出吸附的气体。这种方法快速高效,缺点是结构复杂,需对加热温度进行监控,一般不超过66℃,以免使泵内元件受损。泵体升到室温后,使用机械泵对其进行粗抽,一般达到6.5~13 Pa,然后关闭粗抽阀,记下真空度。确定无泄漏的情况下,对真空度进行观察,若5 min内压力升高率小于1.3 Pa/min,则可认为再生完成,否则必需重复充N2气、粗抽过程,直到压力升高率达到要求为止。