真空机组的组成及特点

　　真空机组是由多台真空泵及附件组成的成套真空获得设备。机组中一般有粗抽泵(预抽泵)、前级泵、主抽泵和维持泵。

　　粗抽泵从大气压开始降低系统压力，一直运行到另一抽气泵可以开始工作。前级泵是用来维持另一个真空泵的前级压力在临界前级压力以下的真空泵，前级泵也可以作为粗抽泵用。有些真空泵对前级压力有要求，必须配前级泵，以维持其前级压力低于要求值。有些泵不能从大气压力开始工作，必须配粗抽泵，达到预真空要求才能开始工作。如普通罗茨泵、分子泵、扩散泵、离子泵等真空泵，都需要配置粗抽泵和前级泵才能正常工作。

　　主抽泵(主泵)是机组中抽速最大、真空度最高的真空泵，是真空系统获得最高真空度的真空泵。对于主泵来说，其他泵都可以算作其前级泵。

　　真空系统中有时气体量很小，不能有效利用主泵的大抽速，为此配置抽速较小的辅助前级泵维持主泵正常工作或维持已抽容器的工作真空，这种泵称为维持泵。维持泵的使用主要是从经济环保的角度考虑的。

　　真空机组各组成泵之间取长补短、相互配合，在抽速和极限真空上都比单个的真空泵有很大提高。根据需要还可以启动不同的泵或组合，从而能够满足多种要求。

　　从使用方便、安全角度出发，真空机组一般都配有真空阀门、充气阀、波纹管、机架、冷却水管路、断水保护、真空继电器、电器控制设备等。

　　常用的真空机组有：单级或多级罗茨泵配水环泵，单级或多级罗茨泵配滑阀泵，罗茨水环滑阀机组等。