干式螺杆真空泵是干式泵家族中的一员。所谓干式真空泵,一般认为是能在大气压到10-2Pa的压力范围内工作;在泵的抽气流道中,不能使用任何油类和液体,排气口与大气相通,能直接连续向大气中排气的泵,也称无油真空泵。
干式真空泵在抽气流道内无任何液态工作介质或密封介质,从根本上解决了油封式真空泵引发的各种问题。
干泵的种类很多,目前已开发出来的有罗茨泵、爪型泵、祸旋泵、往复活塞泵、螺旋泵等。
螺杆式干式真空泵特点如下:
(1)可靠性高。螺杆式干式真空泵零部件少,没有易损件,因此它运转可靠,寿命长。
(2)操作维护方便。
(3)动力平衡性好。螺杆式干式真空泵没有不平衡的惯性力,机器可平稳地高速运行。
(4)适应性强。螺杆式干式真空泵具有强制输气的特点,在宽广的压力范围内能保持较高的抽速,排气量几乎不受排气压力的影响。
(5)多相混输。由于螺杆式干式真空泵转子齿面问留有微小间隙,因而可抽除腐蚀性、有毒、含有粉尘、可凝性蒸汽等多种气体。