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机械泵的极限真空度产生的原因及克服

发布时间:2016年09月06日 09:12   阅读:10679   返回   来源:泽德
  机械泵的极限真空度可以达到10-1 Pa,这取决于以下三个方面的原因。
  (1)机械泵的定子空间中两空腔间的密封性。这是因为两个空腔中一个为大气,另一个为极限压强,密封不好将直接影响到极限压强。
  (2)排气口附近有一个“死角”空间,在旋片移动时它不可能趋于无限小,因此不能有足够的压力去顶开排气阀门。
  (3)泵腔内密封油有一定的蒸汽压。
  由于定子密封性不可能达到完全密封,(2)和(3)属于客观因素不易改变,所以机械泵就存在一个极限真空度。通过改进装置的定子的密封性,改装装置尽量减小“死角”空间,对泵腔内的密封油进行处理,减小蒸气压等方法,可以提高机械泵的真空度,但无法最终克服。

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