在真空泵中，真空泵油不仅作为获得真空的介质，还对机械摩擦点起润滑、冷却和密封作用。
根据组成不同，真空泵油主要有矿物油型和合成型两大类。其中矿物油型真空泵油又包括有添加剂、无添加剂及液体石蜡三类。合成型真空泵油主要有合成烃、酯类油、含氟化合物等。矿物型真空泵油的基础油，主要是由石蜡基润滑油及少量环烷基润滑油馏分经减压蒸馏切割、分子蒸馏等过程而得到的。加氢基础油由于脱除了大量的杂质，将多环芳烃、胶质、沥青质等非理想组分转化为理想组分，大幅度改善了基础油的黏温性能。与溶剂精制油相比，加氢基础油具有高黏度指数、低凝点，且颜色得到改善，稳定性增强，抗乳化性和氧化安定性也有所改善。加氢油制得的真空泵油沸点高，相对分子质量较大，组成合理，有利于获得高真空度且由于该油馏分窄，精制深度高，抽气速率也有所提高。
真空泵油作用包括以下几方面：
第一.主要作为真空传动润滑洫。
第二.罗茨真空泵的传动齿轮和轴承，部分浸入油中，依靠飞溅使传动部件保持必要的润滑。
第三.涡轮分子泵油主要润滑分子泵轴承。
第四.真空密封油专用于油封金属接触式真空阀。
第五.作为喷射泵的工作液。
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