容积吸气剂泵的工作原理及特点

　　吸气剂可分为二类，一是常温下活性金属如钡合金等的表面吸气；另一类是高温下活性金属如锆等的容积吸气。前一类主要依靠表面薄膜吸气，后一类主要依靠吸气材料容积内部的吸气。吸气泵是利用吸气材料的容积吸气。

　　容积吸气剂泵的结构，有点象钛升华泵，但它并不要求供沉积钛的大的表面，所以更简单些。将吸气材料(锆、铝合金粉)辗压在片条状的基金属上，采取直接通电或用辐射加热的办法，使吸气剂达到工作温度，吸气剂即能大量吸气，其工作温度约为400℃。使用几次后，如表面出现饱和，可激活一次，激活温度为800～900℃。激活一般在优于10托的真空度下进行。激活后泵的抽速可以恢复，但是引起再饱和的气体量比激活前的显著减少。如有需要，可继续进行激活，照此循环下去，直至经激活后不再维持足够的抽速，这时泵的总吸气量称吸气容量。

　　容积吸气剂泵的极限压强一般为10^-8托数量级，最终数值决定于氢的分压强。

　　锆铝吸气剂对氢的吸收特别有效，甚至在室温下，也能维持l升/秒的抽速。它常被用作在压强范围为1～10^-6托的辅助泵，也有用来代替溅射离子泵，对电子管进行排气的。

　　容积吸气剂泵的特点是具有高的抽速和容量，特别是对H₂，并有宽广的运用压强范围，使用时较为简单可靠。它对荷能质点的碰撞、射线的照射以及放射性物质的存在，都不会影响到容积吸气剂泵的特性，故它特别适合于核聚变和等离子物理研究的装置中使用。

　　在超高真空环境下，许多真空用金属材料放出的气体中，主要是H₂，而溅射离子泵在10^-8托以下时，由于H₂的溅射产额低，故抽速较低。如用锆铝吸气剂泵与之配合，就能收到良好的效果。