涡轮分子真空泵的组成及驱动方式
发布时间:2016年08月22日 09:46 阅读:4744
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泽德
涡轮分子真空泵是一种对各种气体的抽速差别不大的真空泵。它由一系列高速旋转动片和固定的静片组成,动片和静片构成相间排列。气体分子与高速旋转动片相碰撞,就可获得沿运动表面方向的速度分量,通过系列动片和静片的组合,使气体分子沿一定方向运动,从而产生抽气效果和压缩气体作用。涡轮分子泵的压缩比与气体分子量的平方根成正比关系,由于碳氢化合物的分子量较大,因此对碳氢化合物具有净化作用。它的极限真空可以达到5×10-8~1×10-9Pa。涡轮分子泵的转速一般为20 000 r/min~35 000 r/min,抽气速率从数十升每秒到几千升每秒,安装方式有垂直式和卧式。涡轮分子泵通常选择几何尺寸不同的动片和静片组成三个抽气段,即高、中、低抽气段。高段对叶列片的参数选择主要是为了提高抽气速率,低段对叶列片的参数选择则主要考虑提高压缩比,而中段是过渡阶段,要统筹兼顾考虑过渡过程以达到合理匹配。
涡轮分子泵通常选用中频电机,因此要采用中频电源来驱动。由于旋转动片需要高速运转,旋转动片的轴承就需润滑剂来润滑以达到延长使用寿命。涡轮分子泵需采用循环水冷却。随着科学技术的发展,高性能磁悬浮涡轮分子泵的产品不断涌现,但由于价格昂贵,安装条件苛刻,只能在特殊设备中采用。因此,目前电子束曝光机超真空的获得仍然采用常规的涡轮分子泵。
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