制冷机低温泵的用途及分类

　　制冷机低温泵将低温面、挡板组装在封闭循环的低温制冷机系统中，与制冷机组合为一体，尤 其近年来，随着可靠性高的小型制冷机商品化，使用带小型制冷机的低温泵越来越多。

　　制冷机低温泵的制冷机一、二级冷头直接和辐射屏、冷板相连，在制冷机与压缩机连接管路中 流动的是常温、高(或低)压气体介质，不存在低温介质的输送问题，是目前比较理想的清洁超高真 空泵。这种低温泵广泛用于薄膜制备、微电子学技术、高能物理、小型环境模拟设备以及其他各个 工业领域。为得到超高真空，必须抽除氦、氖、氢等气体，在低温板上涂吸附剂加活性炭等即可达 到目的。

　　小型制冷机低温泵外壳结构分为三种类型：

　　①裸式泵，将泵芯直接插入真空室中。

　　②直筒泵，泵体外形为直筒形，是最常见的一种泵。

　　③凸腔泵，泵腔部分扩大，提高了泵的抽速。

　　制冷机低温泵可以人为地分为两个部分：真空腔与制冷机。真空腔包括泵壳、屏蔽罩、屏蔽挡板、低温冷凝面与活性炭吸附面。制冷机在此仅仅指内部制冷部件，是制冷机低温泵的核心。