油扩散泵抽气系统及其操作注意事项

　　扩散泵、冷阱、闸板阀和机械真空泵是真空系统的主要零件。对设计合理的系统来说，清洁的真空室在不烘烤的情况下，一般可达到2×10^-4～5×10^-4Pa的压力。真空系统中主要的气体负载是水蒸气。真空室内各零部件，在烘烤初时放出的气体中的绝大部分是水蒸气。为了快速抽除这些水蒸气，在真空泵的上方．或者在真空室内设置一个液氮冷阱，就能达到这一目的。而所配的液氮冷阱对水蒸气抽速可高达4000L/s。显然，液氮冷阱的设置，也可大大降低油蒸气的返流率。在对油蒸气返流率要求不高的场合下，降低返油率的最简单的办法是采用高质量的泵液，或者在扩散泵的进口处设置一个水冷障板就行了。

　　在这系统中，仅用一台机械泵。它既用于粗抽真空室，又用作扩散泵的前级泵。因此，在系统上分别设置了前级管道阀和粗抽阀。当机械泵用作粗抽时，应将前级管道阀关闭，如果粗抽时间在15min以内，而前级管道内的压力升高又不明显的话，这种布置是允许的。

　　装在粗拙管道上的热传导规，是用来检查机械泵的空载压力的。第一个电离真空规是接于真空室的，以正确反映翅空窜内的压力；第二一个电离兵空规安放在冷阱和闸板阀之间，用于监测扩敞象的空载压力，也用来识别扩澈泵工作性能的好坏。

　　设置检漏仪接口，利用这个接口可以在系统工作时，把检漏仪接在系统上，为对真空室、阱和扩散泵等的检漏捉洪最高的灵敏度，和最快的响应时间。粗抽管道上装了捕集阱后，粗抽管道就不会被机械泵液所沾污了。机械泵的放气阀应设在捕集阱的上方，以便在机械泵每次放气时，可把蒸气从真空事处排走。放气冲洗阀，分别用于对液氮阱和真空室的冲洗。

　　这系统操作时应注意几点：

　　①为了防止机械泵油的返流，工作室的粗抽，只能抽至压力勾1 5Pa时为止。到此压力后应关闭粮抽阀，并经一段延时后，打开高真空阀。

　　②系统的停机开始于关闭高真空阀，井使液氮冷阱升温，让扩散泵拙走由液氮冷阱所放出的气体和蒸气。如果让冷阱自然地与周围环境达到平衡，则视冷阱的结构不同，需要4～20h。用于燥氮气吹液氮贮罐，可使这一时间大大缩短。当冷阱温度达到0℃时，就可切断扩散泵电源。在扩散泵冷却到50 ℃时，关闭前级管道阀门，这时就可关掉机械泵并放气。切不可在前级管道阀门尚未关闭时，就对机械泵放气。因为这将使大量机械泵油蒸气带入扩散泵。最后，应把扩散泵的冷却水关掉；③启动系统时，首先要将冷却水通入扩散泵外套，然后接通机械泵电源，在把粗抽管道里的气体抽至某一压力，如100Pa之后．就可打开前级管道阀门，并对扩散泵加热器通电加热。待扩散泵正常工作后，对液氮冷阱注入液氮，也可在扩散泵尚未正常工作之前灌以液氮，并关闭前级管道阀，使机械泵对真空室进行粗抽至l 5～20Pa后，即关闭粗抽阀，稍经延时后，先接通前级管道阀，最后就可打开高真空阀了。

　　④即使对一个设有液氮冷阱的真空系统，在经常启动和关闭系统后，会有少量的油蒸气沾污在冷阱的上方，甚至高真空室内。为此可采用这样的冲洗办法：切断真空系统中扩散泵电源，使液氮冷阱升温，用一定量的干燥氮气流注入真空室，这干燥氮气流决定于前级机械泵的大小，以使前级管道内压力保持在25Pa左右为宜。这25Pa压力的氮气流会使早先吸附在冷阱上方及真空室内壁上的油蒸气脱附出来，又不至于使机械泵油返流到前级管道中去。当需要再次使用系统时，关掉冲洗气体，启动扩散泵、冷却冷阱即可。如用这种简单技术来启动和停掉真空系统，可节约大量电能、液氮和冷却水。