油扩散泵基本构造和工作原理

　　油扩散泵是一种蒸气流泵，它在10～10-7Pa的压强范围内有较大抽速，是目前生产中最常用的高真空泵，它结构简单，使用维护都很方便，不易损坏，寿命长。

　　油扩散泵的电加热器供热，泵液即用以工作的油产生蒸气沿中心导管上升至各层的伞形喷嘴喷出，形成一定方向的射流，当残余气体分子扩散到油蒸气流中，经过碰撞就和浊蒸气有相同的方向和速度，气体分子即被推送压缩，至前级泵抽空系统而排出。故每一个喷口就进行一次压缩，各喷口处的压强都不一样，越往上越低。油蒸气撞到泵的水冷壁即被冷凝成液态流到泵底。油在其中蒸发一冷凝，不断循环。

　　此种泵所适用的油蒸气压只有几十帕，所以要在10-1Pa压强下才能工作，用前级泵来创造这种条件。

　　在上部进口处设水冷挡板，可以使上逸的油蒸气凝结流下，以达到更低的压强，减少油蒸气返流到真空室内。

　　泵中所用的油的性质对泵的性能有很大作用，应当认真选择扩散泵油。一般要求泵油在室温下饱和蒸气压尽量低，在它的沸腾温度下(泵内的压强时)蒸气压又较高；在工作中油较稳定，不易被氧化，能长时间使用，且价格较低。