油扩散泵(简称油扩散泵)是一种以低压高速油蒸气为工作介质的动量传输式射流真空泵。泵工作在高真空区域。油扩散泵的结构简单，操作方便，单位抽速所需成本较低；油扩散泵没有机械运动部件，使用寿命长，可靠性高和维修方便。油扩散泵特别适用于要求对大工作容器进行快速抽空以及迅速排除被处理材料在处理过程中突然放出大量气体的工艺过程。例如，真空冶金和真空热处理设备。
工作时，先用前级泵将油扩散泵及系统抽成预备真空，泵下部的锅炉内装有泵油，用电热器将泵油加热使之沸腾蒸发而产生油蒸气。由于泵内预抽真空，压力较低，故泵油可以在较低温度(与工作介质种类有关，一般为370～420K)下蒸发。扩散泵油在真空下迅速挥发成蒸气，油蒸气沿导流管上升，由各级伞形喷嘴喷出。伞形喷嘴可以设一级、二级、三级、四级不等。高速喷出的油蒸气打在水冷壁上又凝结成液体流回泵底，在重新加热气化，如此不断循环。被抽系统中的气体分子经进气口扩散进入蒸气射流内部，在大量的高速定向运动的油分子的碰撞下被携带到下一级射流，经逐级扩散携带压缩，经出口喷嘴和排气口被前级泵抽走。在这个扩散抽气过程中存在两个有害的反向扩散：(1)被抽气体分子被压缩到泵的出El处，出口处与人口端就存在被抽气体的密度差，出口处的被抽气体分子就会向入口侧反扩散；(2)定向运动的油分子与被抽气体分子相碰撞，有一部分也会改变运动方向进入被抽系统。再加上喷嘴处油蒸气分子密度大于被抽系统的油蒸气密度，油分子也会反向扩散到被抽系统中。上述两个有害的反扩散是影响油扩散泵极限真空度提高的原因之一，同时也对真空系统产生油蒸气污染。改善喷嘴设计和提高扩散泵油的质量，在泵的进气端设置液氮冷阱等，可以在一定程度提高泵的极限真空度，减轻系统的油污染。普通油扩散泵的极限真空度可达10-5Pa，超高真空油扩散泵可达5 X 10-8Pa。
油扩散泵必须在用前级泵将系统压力预先抽到低于扩散泵的起始工作压力后才能正常工作，而且油扩散泵必须在正常抽气工作前提前对泵油进行加热。油扩散泵在装配前必须清洗，装入足够的工作液体。泵s体冷却水套必须通足够压力的冷却水。未通冷却水时，不要加热扩散泵油。停机时，先停止加热，待油冷却后现停止冷却水。
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