油扩散喷射泵工作原理和应用

　　油扩散喷射泵利用高压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。油扩散喷射泵广泛用于真空冶炼、空间模拟试验、真空镀膜和对油污染不敏感的一些真空系统中。在真空系统中，它可以用作为主轴泵，也可串联在油扩散泵与机械真空泵之间，用来提高抽气系统在中间压力范围的抽气量和降低前级机械真空泵的抽速容量。因此它又常称为油增压泵。

　　同油扩散泵一样，它也由扩散喷嘴、喷射喷嘴、泵体、扩散器、油锅、蒸气导管、冷却系统和加热器等部分组成。但在性能和泵的结构上，它同油扩散泵有不同之处。两者的极限真空不同，油扩散喷射泵的排气量就比前者大。油扩散泵装设有分馏和净化装置，而油扩散喷射泵不但不要装分馏和净化装置，还要采用较大的加热功率加热和采用沸点低、饱和蒸气压高的泵油，致使油扩散喷射泵的油锅蒸气压比扩散泵大数倍或数十倍，即高达数百帕以至数干帕。油扩散喷射泵需要装设大扩张率(喷嘴的出口面积与其喉部面积之比)的喷射喷嘴和长的扩散器来提高泵的前级反压力，因此，油扩散喷射泵是兼具油扩散泵和喷射泵抽气性能的真空泵。

　　油扩散喷射泵属动量传输真空泵。利用高压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气。又称油增压泵(可应 用于大型油扩散泵的出口处，来增压其出口压强)。与油扩散泵相比，二泵的抽气原理无多大区别，但 在结构和性能上却有不同之处，油扩散喷射泵不需装分馏和净化装置，但要采用较大的加热功率加热和 采用沸点低、饱和蒸气压高的泵油，使油蒸气压比扩散泵大数倍或数十倍。油扩散喷射泵还须装设大扩 张率(喷嘴的出口面积与其喉部面积之比)的喷射喷嘴和长的扩散器来提高泵的前级反压力，所以泵能稳 定的工作在10^-1-1帕或更高的压力范围(扩散泵为10^-1-10^-4)，其极限压力为10^-2帕(扩散泵为10^-1-10 ^-5帕)，抽气速率为几百到几万升每秒，最大反压力为几百帕。作为中真空获得的主要设备，油扩散喷 射泵广泛用于真空冶炼，真空镀膜等对油污染不敏感的真空系统中。