玻璃扩散泵的工作原理和分类

玻璃扩散泵的工作原理和分类

　　玻璃扩散泵也是一种获得高真空的设备。玻璃扩散泵的泵体、油锅、导流管、伞帽、喷口、冷水壁、冷水帽(有的泵没有冷水帽)和冷水挡板等几部分全部用玻璃焊接制成，具有透明、直观、便于操作和清洗等优点。已广泛地应用在科研、生产、教学等各个领域中。

　　玻璃扩散泵的工作原理

　　油锅中的扩散泵油在真空中被加热沸腾后，所产生的大量油蒸气经导流管上升至喷口，然后沿伞帽的斜角高速喷出。扩散泵进气口附近的被抽气体所产生的分压高于蒸气流中该气体的分压，故使气体分子不断地扩散到蒸气流中去。气体分子被油蒸气撞击，沿蒸气流的方向高速运动。气体分子碰到泵壁又反射回来，再次受到蒸气流的碰撞而重新沿着蒸气的方向流向泵壁。经过几次碰撞以后，气体分子被压缩到下一级喷口。气体分子被下一级喷口喷出的油蒸气逐级压缩到低真空端，最后被前级泵抽走。而油蒸气碰到冷泵壁上被冷凝成泵油以后，再流回油锅，重新被加热蒸发。如此循环工作，以达到抽气的目的。

　　玻璃扩散泵的种类及性能

　　以工作液的种类划分，玻璃扩散泵主要有油扩散泵和汞扩散泵两大类。油扩散泵和汞扩散泵又有大、中、小各种型号。玻璃扩散泵目前全国还没有统一的规格标准和命名，用户只能根据生产单位提供的抽速和极限真空度这两项性能指标来选用。

　　几种典型玻璃扩散泵。三级油扩散泵体积小；效率高，真空度可达10-9托，抽速约40升/秒，可用在较小的真空系统上。

　　四级油扩散泵有大小两种规格，它们的极限真空度均为10-10托。小型四级泵的抽速约为90升/秒；大型四级泵的抽速约为120升/秒。因四级泵比三级泵多了一级喷口，真空度和抽速都有所提高，可用在较大一点的真空系统上。特殊的大型四级油扩散泵，其极限真空度可达10-10托，抽速可达300升/秒。这种泵用途较广。

　　卧式油扩散泵。它的极限真空度达10-10托，但抽速较小，约10升/秒。由于这种泵的每一级的油锅各单独使用一个电炉，而每一电炉又都要用调压变压器来控制，操作复杂。因此，目前已很少生产和使用这种扩散泵。

　　小型汞扩散泵。它的极限真空度为10-7托，抽速为20升/秒。可用在小型的汞真空系统上。

　　大型的汞扩散泵。它的极限真空可达10-10托，抽速约130升/秒。它是目前抽速较大的一种汞扩散泵。在使用汞扩散泵时，有的必须加用冷阱，以避免汞蒸气进入被抽容器。