扩散泵该如何进行维护？

　　扩散泵基本上是一种没有麻烦的装置，因为它没有运动部件，只需要适当的循环冷却水，给加热器以合适的功率以及正确用量的清洁的泵工作液。内部喷嘴的较大损坏或部件的不正确装配都会影响扩散泵的抽速和返流。当遇到问题时需要日常检查的是确证加热器产生的额定功率。冷却水的出口温度一般应在40～50℃，并应将水流调节到使出口水温保持在此温度范围内。如果使用一种耐用的泵工作液，检查液位便足够了。然而，如果使用价格低的扩散泵工作液，它可能会发生分解，这要求对泵进行清洗和更换新鲜的泵工作液。泵工作液的寿命取决于加热时暴露在较高压强的情况。泵工作液的过分耗损估计是由于阀门的误操作，即在超出泵制造厂规定的允许压强下打开前级阀或高真空阀。

　　抽气慢通常与气体负荷大有关。这可由高的前级压强证明扩散泵工作是否正确。在入口压强为100～lmTorr下抽气时，扩散泵将抽除相当大量的气体。在这种情况下，前级压强上升至到200或250mTorr是正常的，而当真空室的压强降到5×10-4Torr以下时，此压强便迅速下降。前级压强可作扩散泵运行“正常”判断的依据。如果前级压强低于正常值，则应怀疑扩散泵的状况；如果前级压强高于正常值，则应怀疑真空室存在着大的气体负荷或者真空系统的某部分有泄漏问题。

　　真空系统的气体负荷大的原因有两个方面：泄漏和放气。放气是指吸附在真空室、工具夹、基板或部件表面上的任何气体的放出，通常放出的气体以水蒸气为主，但也可能是塑料或润滑油中的易挥发性物质。因为泄漏和出气同样都对抽气或者达到最低压强有影响，应该以检查来确定问题的性质。要分别对空的真空室和装有工夹具、产品的真空室进行检查。

　　扩散泵在正确地工作时，一般几乎不用看管，但是，要确保扩散泵连续工作无故障，则要进行定期检查。

　　通过简单的预防性的维护，可以避免由于停机时间和清洗过程。泵和系统的运行日记可以表明泵的状况，而明显的变化将表示出需要采取的校正措施。

　　检查的频繁程度取决于真空系统的类型及其操作和使用情况，两次检查之问的最长时间间隔要根据经验来确定。

　　扩散泵需要定期大清洗，因为扩散泵工作液在使用中会逐渐老化，这就要把泵从系统中拆卸下来。