多级罗茨泵的特征

多级罗茨泵的特征

 

为了满意以半导体、电子工业为代表的制作工艺对无油的干净真空的须要，越来越多的干式真空取得装备得以开发及普遍运用。其中，干式罗茨泵以其抽速大、对任务条件请求较宽松等长处在干泵市场中占领主要的位置。而在于式罗茨泵当中，则是以多级罗茨泵为主，美日等真空技巧对比兴旺的国度都已开发作产出多级罗茨泵的系列产品，运用于半导体及化工工业中。

所谓“多级”是相关于传统意义上的“单级”罗茨泵而言的，即在转子轴上串联多级罗茨型转子，各级转子由两头壁来隔离，造成绝对独立的泵腔，各级泵腔之间通过上一级的进气口和下一级的排气口间的气流通道相衔接。各级转子的直径和外形是雷同的，而各级转子的宽度有时是不同的，向低压侧方向变窄了。为了增添收缩比，气冷式三叶转子。被抽气体从第一级的进气口进入泵腔，经一级收缩后，通过气流通道进入下一级泵腔中继承收缩，气体经过如此逐级收缩，最后从最后一级的排气口排出。简言之，“多级”就是“多缀转子”，“多级泵腔”，“多级收缩”。

多级罗茨泵通过多级转子的串联完成多个罗茨泵串联的后果，因为是串联，所以多级罗茨泵并不能比单级罗茨祭领有更大的抽速，其实践抽速是取决于第一级的实践抽速。然而，这种构造却能够使罗茨泵到达很高的收缩比，因而，多级罗茨泵是能够作为主泵直排大气，而无需再配置前级泵，这样就能够避免前级裂环节给体系带来的油气净化。3-6级的罗茨泵可从大气压抽到极限压力1pa，如此高的压力差会使转子过热嘭胀，而发作卡逝世景象，所以要在低压段对转子进行气冷，以掌握转予的温度不超越其许可规模。个别的气冷计划是使从各级的排气口排出的气体流经冷却器冷却，再返回到该级的任务腔中，运用冷却气体来冷却转子。当然，这种冷却方式是要以丧失罗茨泵的抽速为代价的。为了避免轴承和齿轮的光滑油向泵腔内返流，多级罗羡泵的泵腔和齿轮箱之距离开或用迷宫式构造加以密封，为了进步无油的水平，齿轮箱也有另外用真空泵排气的状况。