罗茨真空泵工作原理

罗茨真空泵工作原理

 罗茨真空泵（简称罗茨泵）是一种旋转式变容真空泵。它是由罗茨鼓风机演化而来的。依据罗茨真空泵工作规模的不同，又分为直排大气的低真空罗茨泵；中真空罗茨泵（又称机械增压泵）和高真空多级罗茨泵。个别来说，罗茨泵具备以下特征：

在较宽的压强规模内有较大的抽速； 起动快，能立刻工作； 对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感； 转子不用光滑，泵腔内无油； 振动小，转子动均衡条件较好，没有排气阀； 驱动功率小，机械摩擦丧失小； 构造紧凑，占空中积小； 运转保护用度低。

 

     罗茨泵的构造如图所示。在泵腔内，有二个“8”字形的转子互相垂直地装置在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带举措彼此反向的同步旋转静止。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，维持有肯定的间隙，能够完成高转速运行。因为罗茨泵是一种无内收缩的真空泵，通常收缩比很低，故高、中真空泵须要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵自身构造和制作精度外，还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度，可将罗茨泵串联运用。

 

    罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机类似。因为转子的一直旋转，被抽气体从进气口吸进到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。因为吸气后v0空间是全关闭状况，所以，在泵腔内气体没有收缩和收缩。 但当转子顶部转过排气口边缘，v0空间与排气侧相通时，因为排气侧气体压强较高，则有一局部气体返冲到空间v0中往，赌气体压强突然增高。当转子继承转动时，气体排出泵外。

 

    如图为罗茨泵转子由0°转到180°的抽气历程。在0°地位时（图中a），下转子从泵出口封进v0体积的气体。当转到45°地位时（图中b），该腔与排气口相通。因为排气侧压强较高，引起一局部气体返冲过去。当转到90°地位时（图中c），下转子封进的气体，连同返冲的气体一起排向泵外。这时，上转子也从泵出口封进v0体积的气体。当转子继承转到135°时（图中d），上转子封进的气体与排气口相通，反复上述历程。180°（图e）地位和0°地位是一样的。转子主轴旋转一周共排出四个v0体积的气体。